新萊科技自2009年首次參加SEMICON China以來，十余年來緊密結合中國半導體產業(yè)發(fā)展特點和全球半導體產業(yè)發(fā)展趨勢，持續(xù)開發(fā)了真空系統(tǒng)產品與氣體系統(tǒng)產品關鍵零部件，產品包括真空管道、管件、角閥、門閥、傳輸閥，真空腔體及真空部件等，在氣體系統(tǒng)部分包含非超高純的卡套式球閥、三片式球閥、針閥、卸荷閥、過濾器等顫品，特別在超高純UHP部分有EP管道、管件、微型管件、面密封接頭(VCR)、UHP隔膜閥、UHP調壓閥、UHP波紋管閥等系列產品。
亮點請先看— IGS 隔膜閥
本體材料最高階可選316L VIM/VAR 耐腐蝕強
閥座材料可耐高溫環(huán)境使用
膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩(wěn)定性
最小的粒子生成和粒子截留區(qū)域
亮點請先看— FSR (ALD) 隔膜閥
高速驅動，超長循環(huán)壽命
電子或光學致動器位置感應選項
適用于超高純度應用，采用316L VIM-VAR不銹鋼閥體
亮點請先看— IGS 調壓閥
本體材料最高階可選316LVAR 耐腐蝕強
閥座材料可耐高溫環(huán)境使用
膜片耐腐蝕性與可靠度擁有高穩(wěn)定性
亮點請先看— 高真空傳輸閥
半導體級，超低磨耗，低粉成塵
維護容易，維修簡易
長運行壽命
亮點請先看— 氣動兩段式真空角閥
閥門大開度，增加氣體流量
保養(yǎng)簡易，產品壽命長
亮點請先看— 模塊化氣體系統(tǒng)
采用模塊化設計，并集成了半兼容的表面安裝組件
隨著設備尺寸的減小，安裝和維護變得更加容易
